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中电科200mm抛光设备现已进入中芯世界等国内大线

来源:leyu体育官方APP下载 作者:leyu体育官网入口 发表时间:2023-07-27 09:44:22

  离子注入机是集成电路制作前道工序中的关键设备,难度仅次于光刻机。它经过对半导体外表邻近区域进行掺杂,引起资料外表成分、结构和功用发生变化。

  电科配备战略方案部主任李进泄漏,现在电科配备已完成离子注入机全谱系产品国产化,可为芯片制作企业供给离子注入机一站式解决方案。据北京亦庄音讯,我国电子科技集团还发布了国产化化学机械抛光设备,作为集成电路制作中心配备之一,化学机械抛光设备是铜互联工艺不可或缺的设备。

  其间,200mm抛光设备现已进入到中芯世界、华虹宏力、台积电、联电等国内大线,被中芯世界称为“仅有置换率100%的国产设备供货商”。

  此外,据中新网报导,李进介绍,电科配备8英寸化学机械抛光设备市占率达70%,12英寸CMP进入客户验证,功用体现优异。电科配备湿法设备已进入到8英寸集成电路外延片加工和芯片制作范畴。

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产品细节

  离子注入机是集成电路制作前道工序中的关键设备,难度仅次于光刻机。它经过对半导体外表邻近区域进行掺杂,引起资料外表成分、结构和功用发生变化。

  电科配备战略方案部主任李进泄漏,现在电科配备已完成离子注入机全谱系产品国产化,可为芯片制作企业供给离子注入机一站式解决方案。据北京亦庄音讯,我国电子科技集团还发布了国产化化学机械抛光设备,作为集成电路制作中心配备之一,化学机械抛光设备是铜互联工艺不可或缺的设备。

  其间,200mm抛光设备现已进入到中芯世界、华虹宏力、台积电、联电等国内大线,被中芯世界称为“仅有置换率100%的国产设备供货商”。

  此外,据中新网报导,李进介绍,电科配备8英寸化学机械抛光设备市占率达70%,12英寸CMP进入客户验证,功用体现优异。电科配备湿法设备已进入到8英寸集成电路外延片加工和芯片制作范畴。

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